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半導體晶圓溫度控制器

半導體晶圓溫度控制器

簡要描述:與自來水冷卻方式相比,Huber Unichiller 系列制冷器提供更高效率,提供穩定的壓力和傳遞性能,以及恒定的冷卻水溫度。降低水耗量,保護環境,降低操作成本。半導體晶圓溫度控制器適用于化學反應中散熱,制冷技術設備,以及實驗室集中冷卻水供應。 適用于在高達 +40°C的環境溫度下連續工作。選擇露天保護和冬季操作模式,可以即將其放在戶外使用。

產品型號: Unichiller 060T-H

所屬分類:半導體溫控

更新時間:2023-10-24

詳細說明:

與自來水冷卻方式相比,半導體晶圓溫度控制器提供更高效率。提供穩定的壓力和傳遞性能,以及恒定的冷卻水溫度。降低水耗量,保護環境,降低操作成本。適用于化學反應中散熱,制冷技術設備,以及實驗室集中冷卻水供應。 所有Unichillers 適用于在高達 +40°C的環境溫度下連續工作。選擇露天保護和冬季操作模式,可以即將其放在戶外使用。擴展泵壓力和流量可以應用于高壓降。


半導體晶圓溫度控制器參數:
一般信息和溫度控制器
溫度范圍-20...100 °C
溫度穩定性±0,2  °C
控制器Pilot ONE  (E-grade "Basic")  
安全等級III / FL
保護級別IP20
外形尺寸 (寬 x 長 x 高)600 x 692 x 1613  mm
重量228  kg
加熱/制冷功率
加熱功率  2  kW
制冷功率
150-10-20°C
652,81,4kW
制冷方式air-cooled
制冷劑R449A (A1, H280)
循環泵    
壓力泵大值80  l/min ; 5,6  bar
泵連接螺紋尺寸G1 1/4 AG male
連接件
Pt100連接件Pt100
數字接口RS232, Ethernet, USB Device, USB Host
操作數據
允許的環境溫度5 ...40 °C
小填充體積5  L
膨脹容器填充體積7,5  L
電源400V 3~ 50Hz *




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